SEM 조직관찰
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작성일 20-09-18 07:49
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주사전자현미경은 가느다란 전자빔을 시료표면에 주사시켜 2차 전자를 발생하게 하여 입체감 있는 시료의 표면상을 얻기위한 장치이다.
1. 실험목적
기술이 진보함에 따라 마이크론 크기나 그 이하 크기의 시료에 대한 observation과 analysis(분석) 을 통한 정확한 이해가 필요하게 되었다. 이러한 주사전자현미경(Scannning Electron Microscope : SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 observation하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 analysis(분석) 기이다. 또한 X선을 이용하여 작은 부피의 화학조성을 빠르고 정확하게 측정(measurement)할 수 있어서 이의 용도는 영상의 observation이나 analysis(분석) 의 범위를 훨씬 능가하고 있다 SEM analysis(분석) 은 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료와 유가공제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다
2. 이론(理論)
가. SEM
그림 Scanning Electron Microscope
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 observation하는데 매우 유용하게 사용되는 analysis(분석) 기기 중 하나이다. 이러한 한계를 극복하기위해 전자선을 광원으로 사용하는 전자현미경이 개발되었다. 이러한 표면상을 observation하면 시료의 구성원소 및 조직의 치밀성 등을 평가할 수 있다 또 주사 전자현미경에 에너지 분산형 분광기(EDS)를 사용하여 동시에 analysis(분석) 하면 비교적 단시간에 어떤 원소로 구성되어 있는지를 알 수 있다 최근에는 대부분의 SEM에 X선 analysis(분석) 장치를 부착하여 결정구조, 조성component석을 쉽고 效果적으로 할 수 있게되었다. 또한 SEM의 초점심도가 크기 문에 3차원적인 영상의 observation이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 observation하는 것처럼 보여준다. 기존의 광…(투비컨티뉴드 )
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실험결과/기타
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다.그러나 아무리 성능이 우수한 렌즈를 사용한 광학현미경이라 하더라도 광원으로 사용되는 빛의 파장이 가지는 한계성으로 인해 미세 구조에 마주향하여 는 observation이 불가능하다.ㅏ 이러한 미세 구조에 대한 관심으로 인해 단순한 확대경에서 광학현미경에 이르는 현미경의 발전이 이루어졌다.
