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[리포트]4-point probe 박막측정(測定)

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작성일 19-09-27 08:32

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필름 두께 와(in cm) 저항치는 RS에 관련되어 다음과 같이 나타낸다

Rs = (resistivity) / (thickness)

그래서 필름의 두께를 알면 저항치를 계산할 수 있고, 저항치를 알면 필름의 두께를 계 산할 수 있다아

Ohms per square: 표면저항 …(생략(省略))

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순서
다.

(2) Four Point Probe 의 간단한 적용
Surface Resistivity (ρs) = {2π/ [ln (D1/D2)]}R
(D1: 내부 탐침의 바깥 지름
D2: 외부 탐침의 내부 지름)
○ρ=2sV/1 (ohm-meters) for t ≫ s
○ρ=(π/ln2)V/I (ohm-meters) for s ≫ t

shallow layers (s ≫ t) 의 경우에는 Rs를 사용,

RS= (π/ln2)V/I= 4.53(V/I) (ohm-meters) - formula 1

thin waferslids 의 경우와 small-diameter wafer의 경우에는,
correction factoerm F 사용
ρ = F maesured

프로브 포인트의 간격이 일정하면, 전도성 필름의 두께는 간격의 40%이며, 필름 edge는 측정(measurement) 포인트 간격의 4배이고 mean or average(평균) 저항치, 표면 저항치는 formula 1로 주어진다.[리포트]4-point probe 박막측정(測定)

설명
레포트/공학기술

[리포트]4-point probe 박막측정(測定)

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▷4-point probe 박막측정(measurement) 實驗(실험)◁

□ 목적
1. 4-point probe에 대해 알아보자.
2. 면 저항 및 저항률의 concept(개념)을 이해하고 장비를 이용해 박막의 두께를 측정(measurement), 이를 통해 uniformity를 계산하자.

□ 實驗(실험)의 배경理論(이론)
①. 4-Point Probe 에 관련되어

(1) 4-Point Probe 란 무엇인가
- 4-Point Probe는 안쪽 두 점 사이의 전압과 바깥쪽 두 점 사이의 전류를 측정(measurement)하여 박 막(thin layer) 및 시트(sheet)의 저항치를 측정(measurement)하는 계측기이다.

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